Skenovací elektronový mikroskop Tescan Vega S3B Easy Probe

Na každé místo vzorku je zaměřen úzký paprsek elektronů, který prochází vzorkem po řádcích. Interakcí dopadajících elektronů s materiálem vzorku vznikají různě detekovatelné složky. Jak paprsek putuje po vzorku, mění se podle charakteru povrchu úroveň signálu v detektoru. Z těchto signálů je pak sestavován výsledný obraz. Představte si to jako: Házení pingpongových míčků (elektronů) proti neznámému objektu ve tmě. Podle toho, jak se míčky odrazí nebo kolik jich vyrazí další míčky ze vzorku (sekundární elektrony), dokáže počítač vykreslit dokonalý obraz povrchu – tzv. topografii.